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氣體的應用范圍
來源：seouer.cn 發布時間：2020年06月24日
莆田(tian)氣(qi)體產品作為現代工(gong)業(ye)重要(yao)的(de)(de)基礎原料，應用(yong)(yong)范圍十分廣泛，在冶金(jin)、鋼(gang)鐵、石(shi)油、化工(gong)、機械、電子、玻(bo)璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工(gong)、醫藥(yao)醫療等(deng)部(bu)門(men)，均使(shi)用(yong)(yong)大(da)量(liang)的(de)(de)常用(yong)(yong)氣(qi)體或(huo)特種氣(qi)體。氣(qi)體的(de)(de)應用(yong)(yong)，特別對這些領域的(de)(de)高新技術(shu)有(you)重要(yao)的(de)(de)影響，是其不可(ke)缺少的(de)(de)原料氣(qi)或(huo)工(gong)藝氣(qi)。也只有(you)各種新興工(gong)業(ye)部(bu)門(men)和(he)現代科(ke)學技術(shu)的(de)(de)需要(yao)和(he)推動，氣(qi)體工(gong)業(ye)產品才能在品種、質量(liang)和(he)數量(liang)等(deng)方面得到飛躍發展(zhan)。
氣體(ti)在微電(dian)子、半導(dao)體(ti)行業(ye)中應用
氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)使用在(zai)半導(dao)體(ti)(ti)(ti)制(zhi)程中(zhong)一直扮演著重要的(de)(de)(de)(de)角色，特別是半導(dao)體(ti)(ti)(ti)制(zhi)程目(mu)前已被廣泛的(de)(de)(de)(de)應用于各項產業，凡舉傳(chuan)統的(de)(de)(de)(de)ULSI、TFT-LCD到現(xian)在(zai)的(de)(de)(de)(de)微機電(MEMS)產業，皆(jie)(jie)以所謂的(de)(de)(de)(de)半導(dao)體(ti)(ti)(ti)制(zhi)程為產品的(de)(de)(de)(de)制(zhi)造流程，其中(zhong)的(de)(de)(de)(de)制(zhi)程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉(chen)積(ji)等皆(jie)(jie)使用到相當多的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，而(er)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)純度則對組(zu)件性能(neng)、產品良率有著決(jue)定性的(de)(de)(de)(de)影響，氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)供應的(de)(de)(de)(de)則關乎人(ren)員的(de)(de)(de)(de)健康與工(gong)廠運作(zuo)。
氣體(ti)在微電(dian)子、半導(dao)體(ti)行業(ye)中應用
氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)使用在(zai)半導(dao)體(ti)(ti)(ti)制(zhi)程中(zhong)一直扮演著重要的(de)(de)(de)(de)角色，特別是半導(dao)體(ti)(ti)(ti)制(zhi)程目(mu)前已被廣泛的(de)(de)(de)(de)應用于各項產業，凡舉傳(chuan)統的(de)(de)(de)(de)ULSI、TFT-LCD到現(xian)在(zai)的(de)(de)(de)(de)微機電(MEMS)產業，皆(jie)(jie)以所謂的(de)(de)(de)(de)半導(dao)體(ti)(ti)(ti)制(zhi)程為產品的(de)(de)(de)(de)制(zhi)造流程，其中(zhong)的(de)(de)(de)(de)制(zhi)程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉(chen)積(ji)等皆(jie)(jie)使用到相當多的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，而(er)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)純度則對組(zu)件性能(neng)、產品良率有著決(jue)定性的(de)(de)(de)(de)影響，氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)供應的(de)(de)(de)(de)則關乎人(ren)員的(de)(de)(de)(de)健康與工(gong)廠運作(zuo)。
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